CPDA-100Z 系列（加熱型）

電容薄膜真空計 帶加熱（45℃～100℃）

準確度：0.25%（RD）

該系列產品是我司經多年研究開發的一款高精度、高穩定的儀表。可用于精確測量初、

中真空領域的真空度，被廣泛用于半導體集成電路制造設備、航天工業、核工業、石油

冶煉、鋼鐵冶煉、電子工業等各相關行業。

采用雙電容結構降低干擾影響，并提供有45°C～100°C恒溫控制以提供長期穩定性和重

復性，測量準確度高。

CPDA-500Z 系列（Relay型）

電容薄膜真空計

準確度：0.25%（RD）

該系列產品的基本功能與CPDA-100Z相同，在此基礎上增加了兩個用戶可調節

的過程跳變點繼電器，每個繼電器的調節范圍為滿量程的0.1%至100%，雙色

LED指示繼電器狀態。

CPXA-100Z 系列（小型規）

小型電容薄膜真空計

準確度：0.5%（RD）

該系列產品是本司經多年研究開發的一款是體積緊湊，相對成本較低的電容薄膜真空計。

采用24V電源，輸出0-10V標準電信號，輸出電信號與被測真空壓力成線性關系，輸出可

靠穩定。與測量氣體介質相接觸的部分采用高鉻鎳合金，具有很強的抗腐蝕能力。采用

雙電容結構降低干擾影響，測量準確度高。

CPXA-500Z 系列（開關規）

小型電容薄膜真空壓力開關

準確度：0.5%（FS）

該系列產品是一款體積緊湊，相對成本較低的薄膜真空計。提供繼電器輸出，與控制器、報警器、

閥門執行器和其他保護裝置連接，為真空設備提供精準、可靠的保護，實現直接控制，適用于不

需要直流信號輸出的應用場合。輸出繼電器為一對“常開”與“常閉”觸點，繼電器模式可以設置為

在設定值以上或以下接通。

CPCA-100Z 系列（工業型）

電容薄膜式絕對壓力變送器

準確度：0.5%（FS）

該系列是我公司長期以來研發和生產的主要產品。主用于測量系統中的初、中真空壓力，

具有測量正確度高、穩定性好、抗腐蝕能力強、輸出信號可直接參與系統的自動化控制

等特點，并可在儀表上設置壓力控制點。多種可選的電源輸入方式豐富了產品的使用范

圍。其接口方式等均與國外同類產品相同，可直接替換使用。

CPCA-300Z 系列（防爆型）

電容薄膜式絕對壓力變送器

準確度：0.5%（FS）

該系列產品是在CPCA-100Z系列基礎上，開發的一種具有防爆功能的真空壓力測量儀表，

可以在有爆炸性氣體的場合被使用，隔爆等級為dBⅡT5。同時，具有完整的金屬外殼有

很好的抗外部干擾能力。

CPCD-100Z 系列

差壓變送器

準確度：0.5%（FS）

該產品是用于測量兩個系統之間差壓的儀表。采用了電容薄膜技術研發制造，主要測試

膜片材質采用了鎳基合金材料，使它具有耐腐蝕的特性，儀表的輸出信號與被測壓力之

間呈線性關系，具有測量準確度高，穩定性好，反應速度快等特點。可直接替代國外同

類產品。

ZKJ-200Z 系列（保溫型）

高精度真空計

準確度：0.25%（FS）

該系列產品是在原基型的基礎上進一步發展和提高，它帶有特制的傳感器保溫控制系統，

使其在外界溫度變化時，保證傳感部分不受影響，使整個變送器的隨機零飄和溫度系數大

大降低，從而提高了儀表的整體性能。